真空抽氣機組應用概況及原理

ZJP型帶旁通閥羅茨真空泵，是ZJ型羅茨真空泵的派生產品，抽氣原理與ZJ型泵一樣，它也是利用一對８字形轉子在泵殼中保持一定的間隙，作等速反向旋轉而產生吸氣和排氣作用的。所不同的是ZJP型帶旁通閥羅茨真空泵的進、排氣口相連通，在二者的通道上垂直地安裝著一個重力閥。其作用是當進氣口和排氣口的壓力差與閥的有效作用面積的乘積超過閥頭的自重時，閥頭就自動頂開。這個數值是泵可靠運轉的zui高壓力差值，因此，這種閥實際上就是一種過載自動保護閥，也是ZJP 型帶旁通閥羅茨真空泵的zui大優點。

真空抽氣機組主要特點：

• 無油潔凈，滿足各種無油及腐蝕性特殊工況要求
• 過載自動保護，適合高壓差工況，運行安全、可靠
• 高精度、高轉速、高效率，降低使用成本，提高經濟效益
• 無泄漏、低噪聲、低震動，運行、維護成本更低
• 不銹鋼機械密封，密封性能穩定、使用壽命長。

真空抽氣機組應用范圍：

羅茨真空泵的優點是在較低入口壓力時仍具有較大抽氣速率，但羅茨真空泵不能單獨使用，必須與前級真空泵配套使用。當前級真空泵將系統壓力抽到羅茨真空泵允許啟動壓力時，才可啟動羅茨真空泵。

根據不同的工作壓力和工藝條件，羅茨真空泵的前級真空泵可采用油封式機械真空泵、液環式真空泵、往復式真空泵等。配置不同類別的前級真空泵后羅茨真空泵所能達到的極限壓力有所不同。

羅茨真空泵可廣泛應用于需要大抽速和中等真空(10－1 －10－2Pa)的任何真空系統中,例如: 真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗、燈管及燈泡制造、激光器制造、真空包裝設備、汽車制造業、集中真空抽氣系統、各類化工處理、真空脫汽 、真空除汽、真空脫水、真空冷凍干燥、真空蒸餾。

規格參數：

真空系統由機械泵、擴散泵、油增壓泵、增擴泵、羅茨泵、堝輪分子泵等及與它們相匹配的各種氣動、手動、電動閥門、管道等組成。根據工藝要求選擇鍍制方式及形式，如電阻蒸發(鎢絲、鉬舟、石墨舟)磁控源(同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材質及尺寸多弧源(Ф60，Ф80直徑靶材，氣動、電動的引弧等)，真空測量可選擇數字式智能真空計及其優良的測量規管，及其它測量儀器，如自動壓強控制儀等。